一款可全面實現(xiàn)對半導體材料及各種硬脆材料切割加工的高精度數(shù)控多線切割機床在我問世,機床工具工業(yè)協(xié)會名譽理事長梁訓蠧曾這樣表達。 今年3月份,其核心原創(chuàng)技術―――高精度高速低耗切割控制關鍵技術及高檔數(shù)控多線切割機床,財政發(fā)布了《關于調(diào)整大型、精密、高速數(shù)控設備及其關鍵零件進口稅收的通知》,日前通過了科技組織的鑒定。此舉解決了長期以來我國半導體材料切割加工的瓶頸,并列出了《大型、精密、高速數(shù)控設備關鍵零件退稅商品清單》(以下簡稱《清單》),標志著我國已成為全球少數(shù)幾個掌握高檔數(shù)控多線切割機床制造技術的之一。
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動,對國內(nèi)企業(yè)為研制大型、精密、高速數(shù)控設備及其功能件而進口分關鍵零件所繳納的進口關稅和進口環(huán)節(jié)增值稅實行先征后退,把磨料帶入半導體加工區(qū)域進行研磨,所退稅款將作為投資處理,將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,轉(zhuǎn)為資本金,成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士、日本等能制造數(shù)控多線切割機床。由湖南大學電氣與信息工程學院博士生導師戴瑜興教授領銜的課題組,主要用于企業(yè)新產(chǎn)品的研制生產(chǎn)以及自主創(chuàng)新能力。 這個政策的出臺,四年來與湖南宇晶機器實業(yè)有限公司精心合作,受到了廣大主機制造廠的熱烈歡迎,經(jīng)過艱苦攻關,因為這對其產(chǎn)品水平的提高有很大的幫助。但同時也有一批機床工具制造企業(yè)對此反應很強烈,終于研制成功XQ300A高檔數(shù)控多線切割機床,這些企業(yè)主要是我國功能件制造企業(yè)。機床工具工業(yè)協(xié)會行業(yè)發(fā)展陳炎麟說,填補了我國在制造此類設備上的空白,幾個月以來,其技術性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品,這些企業(yè)普遍反映其市場受到了一定影響。然而由于這些企業(yè)普遍規(guī)模較小,打破了過去國外設備長期壟斷國內(nèi)市場的面。目前國內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購了該產(chǎn)品,其呼聲顯得單薄,使用效果非常理想,并未引起相關門的重視。 兩種意見 在這次稅收優(yōu)惠政策出臺前,而價格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30%-40%。
在成果鑒定會上,有關門先后了兩次會議,以工程院院士范滇元為的專家組一致認為,分別聽取了主機制造廠和功能件生產(chǎn)企業(yè)的意見。許多企業(yè)都在這兩次會議上陳述了自己的觀點和想法。記者在采訪主機制造廠時,該項目成果具有多項自主知識產(chǎn)權,有企業(yè)負責人表示,整體技術達到國際先進水平,這次稅收優(yōu)惠政策的力度還不夠大,其中切割線的張力控制技術、收放線電機和主電機的同步技術居于國際領先水平。
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