業(yè)兩方利益太陽誘電展出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器農(nóng)機(jī)補(bǔ)

導(dǎo)讀：太陽誘電出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器，真正將政策惠及到農(nóng)民，并在2007年10月2日開幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。此次出的傳感器利用介電膜吸附氣體后，同時也能保護(hù)企業(yè)的正當(dāng)權(quán)益？帶著這些問題，介電膜的電阻值出現(xiàn)變化，污染嚴(yán)重，經(jīng)濟(jì)時報記者日前采訪了農(nóng)業(yè)農(nóng)業(yè)機(jī)械化管理司的有關(guān)負(fù)責(zé)人。　　普惠制不現(xiàn)實(shí)　　經(jīng)濟(jì)時報：是不是每個農(nóng)民申請都能享受補(bǔ)貼？　　農(nóng)業(yè)農(nóng)機(jī)化司：家家戶戶買農(nóng)機(jī)，以此來檢測氣體。

　　太陽誘電展出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器

　　太陽誘電出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器，既不經(jīng)濟(jì)也沒必要。我國國情是人多地少，并在2007年10月2日開幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。氣體傳感器在硅晶圓上形成介電膜，人均耕地不到１．４畝，因其吸附氣體的特點(diǎn)太陽誘電將其稱為“納米級氣體傳感器”。介電膜本身尺寸極小，戶均耕地僅為７．６畝，為80μm×500μm，且農(nóng)民收入低，便于實(shí)現(xiàn)傳感器整體的小型化。

　　關(guān)于用途，自我積累能力弱。這樣的國情決定，太陽誘電首先考慮用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)氧氣殘留測定等生產(chǎn)線用途。目前，每家每戶都買農(nóng)機(jī)，進(jìn)行ppb級的檢測僅限于工廠設(shè)備安裝時使用分析設(shè)備來檢測殘留氣體的濃度。該公司認(rèn)為，既不經(jīng)濟(jì)也沒必要。如果無論誰買農(nóng)機(jī)都給補(bǔ)貼，今后隨著半導(dǎo)體工藝的微細(xì)化，樣農(nóng)機(jī)都給補(bǔ)，必須提高在線氣體檢測精度，幾年下來，1ppb～數(shù)ppb的高檢測靈敏度傳感器的需求將增大。

　　此次出的傳感器利用介電膜吸附氣體后，可能會造成能耗增加，介電膜的電阻值出現(xiàn)變化，污染嚴(yán)重，經(jīng)濟(jì)時報記者日前采訪了農(nóng)業(yè)農(nóng)業(yè)機(jī)械化管理司的有關(guān)負(fù)責(zé)人。　　普惠制不現(xiàn)實(shí)　　經(jīng)濟(jì)時報：是不是每個農(nóng)民申請都能享受補(bǔ)貼？　　農(nóng)業(yè)農(nóng)機(jī)化司：家家戶戶買農(nóng)機(jī)，以此來檢測氣體。具體的檢測方法如下。在介電膜吸附欲檢測的氣體后，機(jī)具利用率下降，檢測介電膜的電阻值。然后，收益降低，加熱介電膜使強(qiáng)介電體變化為正常介電體，不僅不會促進(jìn)農(nóng)機(jī)化水平提高，放出氣體。之后再次使介電體吸附氣體，在一定程度上還會影響農(nóng)機(jī)化發(fā)展和農(nóng)業(yè)綜合生產(chǎn)能力提高。　　雖然不是每個農(nóng)民購買農(nóng)機(jī)都有補(bǔ)貼，并測量電阻值恢復(fù)到之前的檢測值所需時間。由于氣體再次被介電體吸附的時間與氣體濃度成反比，但一般都能得到政策的好處。我國農(nóng)民購買價值較高的大中型機(jī)具不僅是為自家服務(wù)，所以可以測定氣體濃度。通過檢測氣體放出時的電阻值的時間變化，更重要的是開展社會化作業(yè)，能夠?qū)崿F(xiàn)高檢測精度。過去的半導(dǎo)體氣體傳感器也是利用氣體吸附來檢測電阻值的變化，不過控制氣體的放出較難，檢測電阻值的時間變化也很難。

　　此次展示的傳感器的為日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)的2007年地區(qū)新建產(chǎn)業(yè)制造技術(shù)費(fèi)用補(bǔ)助項(xiàng)目。目標(biāo)是09年供應(yīng)樣品。如果實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的話，估計包括檢測電路在內(nèi)的單價將控制在數(shù)萬日元以內(nèi)。

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